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    雖然介質薄膜的空位、位錯、裂縫等缺陷以及氧化物、化學計量比偏離、雜質等缺陷均多于相應的塊狀材料，但介質薄膜的介電機理、損耗機理與擊穿機理等仍可用塊狀介質材料的相應機理表述。
    介質薄膜的極化
    當垂直于介質薄膜加一電場時，其表面就有感生束縛電荷出現(xiàn)，稱為介質薄膜的極化，其實質就是介質薄膜內(nèi)的原子核、電子云、離子等在電場作用下發(fā)生定向移動和某些具有偶極矩的分子在電場作用下定向排列。常用極化強度尸來表示束縛電荷的多少。